Analizator infracrvene spektroskopije Fourierove transformacije (FTIR) koristi se u industriji proizvodnje poluprovodnika. FTIR je instrument za spektralnu analizu koji koristi infracrvenu spektroskopiju za analizu koncentracije nečistoća kroz Fourierovu transformaciju. Spektrometar se uglavnom sastoji od izvora svjetlosti (silicijum-karbonska šipka, živina lampa visokog pritiska), Michelsonovog interferometra, detektora i interferometra
Infracrvena svjetlost koju emituje infracrveni izvor svjetlosti S kolimuje se u paralelni infracrveni snop i ulazi u sistem interferencije. Nakon podešavanja interferometra, dobija se snop interferentne svjetlosti. Svjetlost interferencije prolazi kroz uzorak Sa da bi dobila signal interferencije koji sadrži spektralne informacije, koji stiže do detektora D i zatim se pretvara u električni signal pomoću D. Signal interferencije ovdje je vremenska funkcija, što je obrazac interferencije nacrtan signalom smetnje. , a njegova horizontalna os je vrijeme kretanja ili udaljenost ogledala u pokretu. Ovaj obrazac interferencije se šalje računaru preko A/D pretvarača, a računar izvodi brze proračune Fourierove transformacije da bi dobio infracrveni spektar sa talasnim brojem kao horizontalnom osom. Zatim se šalje kateru kroz D/A pretvarač da bi se nacrtao veoma poznati standardni infracrveni apsorpcioni spektar.
